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罗茨真空泵是一种可变真空泵，其转速和转速成正比。真空泵的泵腔内装有2个“8”字型转子，它们都装在一对平行的轴上，并互相垂直，由一对传动比为1的齿轮带动，彼此做逆向、同步转动。转子与转子之间，泵壳体与转子之间，仍然保持有一定的间隙，可实现高速运转。所以罗茨真空泵是靠这一对转子同步的，反向旋转的推压作用使得抽吸气体从进气口进入转子和泵壳之间的空间，然后通过排气口排出实现抽气的真空泵。
真空泵是由两个转子安置在泵体内的位置来划分的，主要分为三类：
立式罗茨真空泵：罗茨真空泵的两个转子轴为水平安装，而两个转子轴形成的平面与水平面垂直；
卧式罗茨真空泵：罗茨真空泵的两个转子轴均为水平安装，并在转子轴上形成的平面成水平方向；
竖轴式罗茨真空泵：罗茨真空泵的两个转子轴垂直安装在水平面上。
真空泵是在运转时产生的热量，因此我们经常为Rockeyez泵配备冷却设备。在真空等离子体清洗机中，罗茨真空泵使用常规的冷却装置有3种，分别是气冷、油冷和水冷。
罗茨真空泵的特性：
罗茨真空泵是一种无内压的真空泵，通常压缩比非常低，因此在真空等离子清洗机中无法单独使用罗茨真空泵。一般需要配置一个旋片真空泵或干式螺旋真空泵作为泵组的底水泵组成。
作为真空等离子清洗机中常用的一种真空泵，罗茨真空泵具有很好的性能，如：
罗茨真空泵的起动速度快，抽速大，效率高；
其次，罗茨真空泵对所抽气体的要求不太高，无论含尘或水汽均可抽；
三是罗茨真空泵的转子不需要润滑，泵腔中不含油，这样就不会造成油污；
四是罗茨真空泵结构紧凑，占用空间小；
五是结构简单，便于维修。
